由本人親自向國內住所地戶政事務所申請，層轉直轄市、縣（市）政府轉內政部許可。
須攜帶之文件如下：
一、合法有效之外僑居留證或外僑永久居留證。（請向居留地之內政部移民署服務站申請，居留期限屆滿前30日內，請先申請延長居留期限）。
二、原屬國政府核發之警察紀錄證明或其他相關證明文件。(1)向原屬國政府申請，核發日期須在申請日前6個月內，原屬國政府核發日期以後，申請人入境有再出境者，應再繳交出境期間無犯罪紀錄證明。 (2)申請人為我國人配偶，已取得外僑永久居留證，或其外僑居留證居留事由載明為「依親(夫或妻)」者，得免附。(3)申請人曾為我國人配偶，其婚姻關係消滅後，無出境者，得免附。
三、相當之財產或專業技能，足以自立，或生活保障無虞之證明。(金額之計算，包含在國內設有戶籍之配偶、配偶之父母或父母之收入或財產)(已取得外僑永久居留證者，得免附)
請檢附下列文件之一：
(1)最近1年於國內平均每月收入逾勞動部公告基本工資二倍證明。（得檢附最近一年度各類所得扣繳暨免扣繳憑單、納稅證明書、雇主開立聘雇期間載明薪資所得及轉帳薪資資料證明或其他相關證明文件）。
(2)國內之動產及不動產估價總值逾新臺幣500萬元。
(3)我國政府機關核發之專門職業及技術人員或技能檢定證明文件。(證明文件，係在臺灣地區配偶、配偶之父母或父母之一所有者，該等人員並應出具足以保障申請人在國內生活無虞之擔保證明書)。
四、具備歸化取得我國國籍者基本語言能力及國民權利義務基本常識證明文件。請檢附下列文件之一：
(1)曾就讀國內公私立各級各類學校1年以上之證明。
(2)曾參加國內政府機關所開設之課程上課總時數或累計時數達200小時以上之證明；年滿65歲以上者，72小時以上。
(3)參加歸化取得我國國籍者基本語言能力及國民權利義務基本常識測試之合格證明，70分以上；年滿65歲以上者，50分以上(曾參加歸化測試者得免附成績單，由戶政機關代查)。
五、依國籍法第9條第4項第3款規定，由外交機關出具查證屬實之文書正本。
六、無國籍人應檢附內政部移民署核發載有「無國籍」之外僑(永久)居留證外，並請檢附其他身分證明文件，如外國政府核發載明無國籍之旅行身分證件正本（驗畢後，由受理機關發還）或其他經內政部認定之無國籍證明文件。
七、歸化國籍之高級專業人才推薦理由書(由中央目的事業主管機關推薦) 。
八、最近2年內所拍攝正面彩色脫帽相片1張（同國民身分證相片規格，背面書寫姓名）。
九、證書費新臺幣1,200元 (請以郵政匯票繳交，受款人：內政部)。